Struktura mašine za jetkanje plazmom

ICP oprema se uglavnom sastoji od četiri dijela: pred-vakumske komore, komore za nagrizanje, sistema za dovod gasa i vakuumskog sistema.

(1) Pred-vakumska komora

Funkcija pred-vakumske komore je da osigura da se komora za nagrizanje održava na postavljenom nivou vakuuma, da na nju ne utiče vanjsko okruženje (kao što je prašina, vodena para) i da izoluje opasne plinove iz čiste prostorije. Sastoji se od poklopca, manipulatora, mehanizma prenosa, izolacionih vrata, itd.

(2) Komora za nagrizanje

Komora za jetkanje je osnovna struktura ICP opreme za jetkanje. Ima direktan utjecaj na brzinu jetkanja, vertikalnost nagrizanja i hrapavost. Glavne komponente komore za nagrizanje su: gornja elektroda, ICP radiofrekventna jedinica, RF radiofrekventna jedinica, sistem donjih elektroda, sistem kontrole temperature itd.

(3) Sistem snabdevanja gasom

Sistem za snabdevanje gasom treba da isporučuje različite gasove za nagrizanje u komoru za nagrizanje i precizno kontroliše protok i protok gasa kroz regulator pritiska (PC) i kontroler protoka mase (MFC). Sistem za snabdevanje gasom se sastoji od boce sa izvorom gasa, dovodnog gasovoda, kontrolnog sistema, jedinice za mešanje itd.

(4) Vakumski sistem
Postoje dva vakuumska sistema, jedan za pred-vakumsku komoru, a drugi za komoru za nagrizanje. Pred-vakumska komora se evakuiše mehaničkom pumpom. Tek kada nivo vakuuma u pred-vakum komori dostigne zadatu vrijednost, mogu se otvoriti izolacijska vrata za prijenos vafla. Vakuum u komori za nagrizanje osiguravaju mehanička pumpa i molekularna pumpa. Gasovi koji nastaju reakcijom u komori za nagrizanje se takođe evakuišu pomoću vakuumskog sistema.